磁传感器就是把磁场、电流、应力应变、温度、光等引起敏感元件磁性能的变化转换成电信号,以这种方式来检测相应物理量的器件。其特点是可以非接触测量,检测信号几乎不受被测物的影响,耐污染、噪声强,即使在很恶劣的环境条件下也能够可靠地工作,坚固耐用,寿命长。正因为如此,从国防、航空航天到国民经济各个部门,从医疗卫生到人类日常生活的诸多方面,都用到了这种传感器。
磁传感器通常都是组装在机器、设备内部来使用的。现代整机正迅速向小型轻便、多功能、智能化方向发展,要求所用传感器即使对微小空间内物理量的变化也能够高灵敏度、高速度地做出响应。即在传感器本身需要小型轻量化的同时,还迫切希望提高其工作速度、检测分辨率和灵敏度。
半导体大规模集成电路制造技术、微电子机械系统(MEMS)制造技术、微组装技术的推广应用,磁性薄膜、非晶、多层膜、纳米磁性丝等新材料和平面线圈微磁器件制造工艺及表征手段的不断进步,为磁传感器的小型化、微型化奠定了可靠的基础,应用各种新效应的许多新型高性能、小型化及微型化磁传感器正不断投放市场。
新型磁传感器的开发和应用,已创造了巨大的经济、技术和社会效益,加速了工业自动化、管理集约化、办公自动化和家庭生活现代化的实现,加快了工业化社会向信息化社会转变的步伐。在传统产业改造、资源探查及综合利用、环境保护、生物工程、交通智能化管制等各个方面,它们将发挥愈来愈重要的作用。